内容原型
某超大型半导体设备生產制造机构地处长三边形省市,常见生產晶圆和加工芯片。在生產过程中 中,晶圆水刀切割和打磨抛光时候制造大量的机磨液废水加工方法,每日尾气占有量上涨约50吨。根据废水加工方法中所含高氧浓度浮悬物、铝合金阴离子及有机的调用剂,立即尾气排放标准会对生活环境产生明显污染问题,机构急要鑫霖环保专业课程加工场地设施。
化工废水成份及源头
考虑液废水处理注意原因于晶圆加工生产中的普通机械设备制造机械设备制造拋光(CMP)多种工序,注意生态破坏物比如:
漂浮颗粒状物
:二空气被氧化硅、空气被氧化铝粉等磨细颗粒剂,粒度分布在0.1-1μm,盐浓度将高达2000mg/L。
合金正离子
:铜、铁、锌等,基增加光泽垫有损坏及晶圆表明金属件层,铜铁离子浓硫酸浓度约50mg/L。
有机肥料填加剂
:涉及单单从表面活力剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强酸碱类物质
:pH值浮动大,常见在2-11期间。
解决艺步骤流程
专门针对废水除理方法因素,用“预除理+生化学+的深度除理”三人组合工艺流程:
调理池
:均匀饮用水储水量,加入腐蚀性调pH至中性化。
混凝土积累
:加药系统PAC(配位聚氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),出掉浮悬物和氢氧化铁,沉降后SS出掉率>90%。
催化反应钝化
:主要包括Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料无机调用剂,COD快速清理率达60%。
生物体工作
:MBR膜生物制品不起作用器进第一步分解剩的充分物,COD降到100mg/L以上。
阳离子互相交换
:专属树脂材料树脂吸附铜化合物,出液铜分子量<0.5mg/L。
砂滤+可溶性炭进行过滤
:有效确保有水出清冽,可达到《生活污水綜合污染物要求》(GB8978-1996)四级要求。
终结效率
体系运营增强后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴离子<0.3mg/L。
回收利用率达40%,剩下的不合格排卸,年减轻化工废水排卸1.7万吨。
加工处理代价约15元/吨,远如果低于相关行业最低值。