半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
产品原型
该工业企业为环球前沿的半导体行业公测工业企业,是在粤港澳大湾区形区域,最主要的开始品质心片的划区和封装形式测试图片。考虑到内地环保性需求从紧,工业企业决定性实现工业废水零进行排放建筑建设项目。建设项目于2020年开机启动,202五年6月起建投建,除理规模化为200吨/日,总项目投资约2000十万。
污水物质及特征
此项主要目的划区废水处理工艺兼具下述特征:
高氧化还原电位氟化物,重点发源晶圆切工后的洗工艺技术,氟阴阳离子氧化还原电位更是高达150-200mg/L
带有纳米技术级硅粉粉末,比表面积多在100-500nm内
有机肥料功率因数补偿较高,COD在500-800mg/L
包含的氢化物发生器高价属如铅、镉等
导电率高,一般在2000-3000μS/cm
工作方法流量
为实现了零进行排放梦想,艺开发主要要考虑废水处理方法归类获得和信息收旧:
焦化废水总类采集而来控制系统
:将含氟废液与其他的废液隔开汇集
无机化学水解除氟
:通过二级钙盐乳浊液法,加上有效乳浊液池
初中级空气氧化处置
:嗅氧离子液体阳极氧化吸附难操作有机酸物
膜浓缩液系统
:适用DTRO碟管式反浸入,浓缩咖啡公倍数为10倍
多效蒸发晶体
:MVR机戒蒸汽发生器再减小蒸馏器处理浓水
干澡操作系统
:将凝结盐干燥处理后身为工业园副企业产品外售
操作功能
体系程序运行的数据提示:
氟化物洗去率>99.9%,留水氟阴阳离子<1mg/L
COD总洗去率>98%,满水后COD<20mg/L
水教育资源收购率>95%,仅引发一少部分析出盐
每人每年回收塑料公司高的质量使用水约8万吨
析出盐溶解度满足产业级规格,保证环境资源化再生进行
活动往往满足了废渣达标排放标准,还按照资源的回收分类处理创造出了约80余万元/年的上限贴现率。