该晶圆制作业厂地处华中区域，最主要的生產8厘米光电器件晶圆，单日化工废水排污量约800吨。随着生產方式中安全使用非常多的氢佛酸展开晶圆蚀刻，会造成化工废河中氟化物浓硫酸浓度高达hg200-300mg/L，远超国度排污基准（10mg/L之下）。 工业废水材质及来历 电镀废水重要产于6个节点： 晶圆蚀刻步骤 ：含高浓硫酸浓度氟化物（HF）、盐酸及一少部分巨资属 有机化学机戒增加光泽（CMP）废液 ：含纳米技术级硅颗粒剂、有机酸络合剂 系统冲洗生产废水 ：含异丙醇、氧化还原电位等有机酸物 治理 工艺程序流程程序流程 适用"检查是否结晶+混疑结晶+程度过滤水"两级处理控制系统： 3级治疗 ：污泥脱水氯化钙和氢腐蚀钙，出现氟化钙沉定，氟化物清理率达85% 二次元工作 ：增添PAC（汇聚氯化铝）和PAM（pe塑料酰胺），弄掉胶体溶液态严重环境有害特性 一级进行处理 ：顺利通过多媒介净化器和特异性炭降解，出液氟化物含量保持稳定在8mg/L以内 重要的装置也包括：pH模式自动调节器模式、斜管沉淀物池、板框刮刀离心机（工业废水脱水情况）。 终结治疗效果 顶目自动运行一年监测网数据统计信息显示： 氟化物人均溶液浓度：7.2mg/L（超过政府原则） COD消除率：92% 淤泥水分含量率：≤65% 年收回氟化钙副好产品约150吨，体现教育综合充分利用充分利用