该厂为8厘米晶圆种植线相互配套的超净水系统性,时刻产生含硅废渣150吨。废渣中虽无血本属,但硅含锌量高易结渣,且电阻值率需高于18MΩ·cm才可以使用。原始外工院艺难以需求新制定的《電子化工水生态破坏物排放标准物标准的》(GB39731-2020)相当排放标准物允许值。
废渣组分结构特征
重要污染破坏物
:电解质溶液硅(200-300mg/L)、粒子硅(孔径0.1-1μm)
独特要
:TOC<10μg/L,硼硫含量<5μg/L
水硬度性能
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机化合物型态较为复杂
外理生产技术具体步骤
特色化分为"梯级膜分离处理+电去阳离子"组合式制作工艺:
微滤预治理
:1μm瓷质膜阻止大颗粒状硅,通量保持80LMH
亚铁离子交易环氧树脂
:D201大孔硅橡胶的抑制性吸出硅酸氧分子
两级RO机系统
:首先段收旧率60%,第二名段所采用高脱硼膜pcb板
EDI电去铁离子
:电压电流高密度2A/m²,不间断去掉稳定度阴离子
太阳光的紫外线杀菌消毒
:254nm太阳光的紫外线,线用量40mJ/cm²
技術重点
建设特用阻硅剂(生产胺类pp物),延长时间膜环境污染期3倍
EDI传感器科技创新流道开发,硅洗去率大幅提升至99.8%
一直在线硅概述仪(在线测量位置0.1-500μg/L)实现目标精准扶贫管控
程序运行取得的成绩
经第四方在线检测:
总硅从280mg/L降低0.05mg/L
硼含碳量从8μg/L调至0.3μg/L
程序收废率从原40%的提升至68%
膜换成周期公式减少至5年,年运动总成本变低35%