某半导体电子器件电子器件生产制作厂在晶圆制作过程中 中,选择硅烷来进行硅外加种子发芽,尾气排放洗條塔有高密度含硅电镀生活污水。电镀生活污水兼有pH价格波动大(2-11)、硅占比高的性能,老式治疗方式易展现硅垢赌塞相关问题。
废污水的成分及来原
工业废水主耍化学成分为:
消融性硅酸盐
:SiO₂酸度达1000-1500mg/L
浓盐酸/氢腐蚀钠
:干洗塔酸碱平衡干洗液农药残留
颗粒状硅
:奈米级SiO₂固体
痕量砷
:原辅料悬浮物带往
治理加工过程步骤流程
革新进行"有级与+膜脱水+蒸发掉结晶体"技艺:
二级采和
:用CaO上下调整pH至4-5,合成硅酸钙奠定,硅的还原率60%。
二级考试采和
:加Na₂CO₃将pH加强至9,进1步凝固乘余硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透装置机系统
:0.02μm陶瓷厂家膜过虑nm级硅粒状,通量平稳在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:精炼高盐电镀废水,结晶体出Na₂SO₄副物品,水回收率超90%。
最中的效果
总硅从1500mg/L减少为5mg/L如下
砷水分含量从0.8mg/L降为0.01mg/L
体统无水垢进行小于2年
每一年收废氢氧化钠钠多晶体约800吨