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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体电子器件电子器件生产制作厂在晶圆制作过程中 中,选择硅烷来进行硅外加种子发芽,尾气排放洗條塔有高密度含硅电镀生活污水。电镀生活污水兼有pH价格波动大(2-11)、硅占比高的性能,老式治疗方式易展现硅垢赌塞相关问题。 废污水的成分及来原 工业废水主耍化学成分为: 消融性硅酸盐 :SiO₂酸度达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢腐蚀钠 :干洗塔酸碱平衡干洗液农药残留 颗粒状硅 :奈米级SiO₂固体 痕量砷 :原辅料悬浮物带往 治理加工过程步骤流程 革新进行"有级与+膜脱水+蒸发掉结晶体"技艺: 二级采和 :用CaO上下调整pH至4-5,合成硅酸钙奠定,硅的还原率60%。 二级考试采和 :加Na₂CO₃将pH加强至9,进1步凝固乘余硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透装置机系统 :0.02μm陶瓷厂家膜过虑nm级硅粒状,通量平稳在80LMH。 MVR减压蒸馏器 :精炼高盐电镀废水,结晶体出Na₂SO₄副物品,水回收率超90%。 最中的效果 总硅从1500mg/L减少为5mg/L如下 砷水分含量从0.8mg/L降为0.01mg/L 体统无水垢进行小于2年 每一年收废氢氧化钠钠多晶体约800吨

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