重庆某半导体鑫霖环保芯片鑫霖环保芯片生产厂，晶圆生产制作的过程中生产含硅、氟的层次性工业废水处理方案，设定治理 的规模1200吨/日。工业废水处理方案组成更复杂，有效纳米级级硅颗粒状及盐酸，常用治理 方案无从符合标准。 废水处理方法因素及原因 注意被固体废弃物 ：固体硅（100-500nm粒度）、氟阴阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 来原繁琐流程 ：晶圆刻蚀污水处理（45%）、CMP化学式机增加光泽污水处理（40%）、设配擦拭水（15%） 清理生产技术流量 创新性选择"药剂学沉定+特殊膜分离处理"系统途径： 钙盐石雕文化沉淀 ：添加氯化钙删去氟化合物（转为CaF2凝固） 斜管沉淀池不良反应 ：组合斜板沉淀池剂满足电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔直径膜挪作他用微细颗粒剂 反渗透设备性整体 ：脱盐率>98%，回笼率75% 蒸发掉析出 ：浓水段构建氟化物零进行排放 终于视觉效果 氟化物盐浓度：<8mg/L（如果低于发展中国家五级标准规定10mg/L） 硅量：<5mg/L 水状况共享循环率：70%采用散热塔保湿 危险废物减药：蒸发器杂质量较传统意义艺降低60%