半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
建设项目游戏背景
该光电器件工业企业属于长三边形省市,重要产量855英寸和1255英寸晶圆,日废气废水流量约2000吨。因为产量制作工艺冗杂,废自来水中所含多类难化学降解充分物和天价属铝离子,傳統办理方式得以够满足日益增长要从严的废气标准单位。
生活污水组分及来源于
污水关键渠道于几个环节:晶圆锯开污水内含大批硅粉和锯开液残渣;耐腐蚀机器磨光污水中含悬浊液硅和磨细粒子;刻蚀擦洗污水内含氟化物、铜化合物等血本属;光刻的工艺污水则内含光阻剂等有机质空气污渍。水环境作用是COD高(800-1500mg/L)、氟化物质量浓度高(200-400mg/L)、悬停物多且内含微量分析血本属。
治疗艺环节
所采用"有机化学预办理+生物化学办理+深度.办理"的组合式工序:
调试池稳定环境质量水流量
混疑沉淀自己除掉悬停物和悬浊液有机物
化学式沉积法特定正确处理氟化物,添加钙盐变成氟化钙沉积
油脂水解酸性反应池不断提高废污水可血生化性
玩钝化池降解塑料生产严重有害物质
活性酶类炭吸咐塔开始的深度治疗
膜剥离 体系为了保证留水水的质量稳固
重要性含铜污废水 专门处理设立阳离子置换控制系统,二手回收有的价值的不锈钢铜。
最终能够特效
大型项目投入使用后启动安全稳定,溢水COD<50mg/L,氟化物氧含量<5mg/L,铜阳离子氧含量<0.3mg/L,每一项依据均相较于发达国家《智能电子工业品水危害物废气排放标准口规定》(GB 39731-2020)。每月可抑制COD废气排放标准口约300吨,氟化物废气排放标准口约50吨,收集铜轻金属约2吨,完成了氛围效用与金钱效用的互利共赢。