半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
項目底色
该产业化园集中了十余家半导体行业关于厂家,设计制作日除理实力5000吨,要除理出自不一样的厂家的搭配污水整理方法。随着各厂家生產加工过程文化差异大,污水整理方法的成分较为复杂变化无常,除理难度很大较高。
污水营养成分及由来
废渣主要主要其中包括三种类:高溶度硅酸化学废渣(光刻胶、显影液液等)、含氟废渣(刻蚀步骤)和耐酸碱废渣(清理步骤)。比较特殊营养成分主要其中包括异丙醇、四甲基氢被氧化铵等难生物降解硅酸化学物,与氟化物、氟化物等硅酸环境污水。废渣COD振幅大(500-3000mg/L),氟化物溶度100-500mg/L,氟化物50-150mg/L。
正确处理具体步骤具体步骤
进行"归类自身+分质治疗+集中化的深度治疗"的科技创新策略:
单位内外部进行分类预加工:含氟生产废水另外汇集并预加工
科技园区管道网种类输料机系统
整合调低池平衡饮用水
二级沥青混凝土沉定删去漂浮物和溶液
更高效生物制品表现器(HBR)补救有机质危害物
臭氧的危害离子液体被氧化吸附难工业制硝酸生产物
反覆盖系统性来进行脱盐净化处理
UV紫外线,线消毒液保持冒水防护
独特设立了上线监测网控制程序和自动化投加控制程序,处置水污染波动性。
然后效果好
软件行驶五年来,处里的效果平稳可靠的。冒水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,挥发酚<5mg/L,总氮<15mg/L,实现河流Ⅳ类基准,部门循环于经济区净化及制冷塔皮肤补水,循环率已超30%。每人每年减轻生鲜水用到约五十万吨,为经济区企业的控制成本电费千余万余元。